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仪器简介
扫描电子显微镜主要用于固体样品微区表面形貌观察与成像。适用于化学、物理、地质、冶金、矿物、环境等样品观测。地质样品如岩石、矿物样;生物样品如种子、花粉、微生物样;材料样品如陶瓷、高分子样;环境样品如土壤、沉积物样等。
主要特点:
1、分辨率小于3.0nm (30kV,高真空,钨灯丝,二次电子);小于4.0nm(钨灯丝)
2、加速电压最小范围为0.5~30KV,放大倍数范围为20~300000 倍;
3、高真空度为1.5×10-3Pa;低真空度为6~270Pa;
4、扫描模式为点、线、面、选区而且能谱仪Si(Li)探测器的分辨率优于133eV;能谱探测器的有效面积为10mm2;能谱元素分析范围为B5~U92
5、样品必须是固体,且无毒、无放射性、无污染、无磁、无水分,直径小于200mm,高度小于小于75mm,粉末样品要特殊处理,对不导电和导电性能差的样品要进行镀膜。
仪器参数
1. 放大倍数:20-1000000;发射电压:200v-30kv;电子束流:0.6pA-200na
2. 最大样品尺寸:125×100×80mm
3. 能谱能量分辨率:129.45eV
4. 可测元素范围:铍Be~锿Es
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